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[课题]一种多晶硅的制造装置以及制造方法，将锌还原法中的反应器的休止时间抑制为最小限度，藉此可使多晶硅的生产效率提高，从而可比较廉价且大量地制造多晶硅，上述锌还原法是以固体状态来将产生的硅回收。[解决手段]通过锌来对四氯化硅进行还原而制造多...该专利属于捷恩智株式会社;JX日鉱日石金属株式会社;东邦钛株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过捷恩智株式会社;JX日鉱日石金属株式会社;东邦钛株式会社授权不得商用。