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公开了在基本闭环的方法中制备多晶硅。所述方法通常包括分解由冶金级硅所制备的三氯硅烷。...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。

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