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本发明涉及一种碳纳米管的制造方法,其具有通过使包含乙炔、二氧化碳及不活泼气体的原料气体在承载有催化剂的支承体上流通,从而在支承体上合成碳纳米管的合成工序,在原料气体中,乙炔的分压为1.33×101~1.33×104Pa,二氧化碳的分压为1....该专利属于日立化成株式会社;国立大学法人东京大学所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社;国立大学法人东京大学授权不得商用。
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本发明涉及一种碳纳米管的制造方法,其具有通过使包含乙炔、二氧化碳及不活泼气体的原料气体在承载有催化剂的支承体上流通,从而在支承体上合成碳纳米管的合成工序,在原料气体中,乙炔的分压为1.33×101~1.33×104Pa,二氧化碳的分压为1....