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一种带有p型氮化镓埋层的垂直氮化镓基异质结场效应晶体管制造技术
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下载一种带有p型氮化镓埋层的垂直氮化镓基异质结场效应晶体管的技术资料
文档序号:8802189
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本发明提供了一种带有p型氮化镓埋层的垂直氮化镓基异质结场效应晶体管,从下至上依次主要由漏极,n+-GaN衬底,n-GaN缓冲层,p-GaN电流阻挡层,GaN沟道层,AlGaN势垒层,以及AlGaN势垒层上的源极和栅极,源极与漏极均为欧姆接触...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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