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一种隧穿场效应晶体管制造技术
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文档序号:8802187
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本发明涉及一种隧穿场效应晶体管,在绝缘层上形成凸出于该绝缘层的轻掺杂或不掺杂的衬底脊,源极区和漏极区在间隔一定距离的所述脊上形成,使源极区和漏极区之间存有一间隔区,在对应于源极区和间隔区的一侧面上形成绝缘介质层,在该绝缘介质层的外侧面形成栅...
该专利属于南通大学所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学授权不得商用。
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