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一种生长易吸潮单晶体的设备制造技术
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下载一种生长易吸潮单晶体的设备的技术资料
文档序号:8797924
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本发明公开了一种生长易吸潮单晶体的设备,该设备主要包括上部分炉体和下部分密封室组成,上部分炉体上设有旋转提拉电机、炉盖、提拉杆、控温设备,石英管、炉底、进气设备,下部分密封室内包括支撑杆、调整设备和底座,该密封室通过底座与地面固定。本发明中...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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