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本发明提供一种金属有机物磊晶薄膜的制造方法，该方法是在内预置有晶圆基板及α射线的密闭空间内，进行以下步骤，包括：抽真空步骤，对该空间进行抽真空，并维持在超真空环境；燃烧步骤，于前述抽真空过程将强酸物质吸入该空间内，并对该空间施予高压，借真空...
该专利属于周义才所有，仅供学习研究参考，未经过周义才授权不得商用。

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