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本发明提供了一种透明导电氧化物薄膜的制备方法，包括：采用第一功率，在衬底上制备第一层薄膜；采用第二功率，在第一层薄膜上制备第二层薄膜；其中，第二功率大于第一功率。本发明提供的透明导电氧化物薄膜的制备方法，由于采用低功率制备出的TCO薄膜平整...
该专利属于英利集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利集团有限公司授权不得商用。

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