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一种制备GaAs薄膜材料的方法技术
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文档序号:8797835
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本发明公开了一种制备GaAs薄膜材料的方法,以Ga2O3,As2O3以及活性炭C为原料,加入与固体原料质量50%~100%相当的无水乙醇,研磨均匀后,用10~15MPa的压力将其压成厚度为1~10mm的片材,然后将其放置于反应器刚玉坩埚中,...
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