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本发明为一种半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述的节水用水系统首先对原水（市政自来水）采用离子交换剂作软化处理，经软化后的水进入超纯水UPW系统，大部分制成超纯水供企业半导体生产用水；超纯水UPW系统的排水进入第一收集槽后分为三路利...
该专利属于上海华强环保设备工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华强环保设备工程有限公司授权不得商用。

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