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本发明公开了一种逆向热键合技术制作尺寸可控的微纳米流体系统的方法，首先在预处理过的光栅模板上涂覆一层SU-8光刻胶，通过逆向压印技术将图形复制到SU-8光刻胶上，然后根据各向界面间的粘附能不同的原理，使用UV胶带将固化的SU-8光刻胶揭下来...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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