下载环抛阶段磨削量在线监测装置及磨削量在线监测方法的技术资料

文档序号:8794833

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本发明公开了一种环抛阶段磨削量在线监测装置以及在线监测方法,包括白光光源[1]、准直镜[2]、起偏器[3]、普通分光镜[4]、宽光谱偏振分光棱镜[5]、色散补偿镜[6]、参考反射镜[7],检偏器[8]、CCD[9]和显示屏[10];方法为:...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

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