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气囊抛光加工大口径光学元件的边缘精度控制方法技术
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文档序号:8794801
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气囊抛光加工大口径光学元件的边缘精度控制方法,涉及一种气囊抛光元件加工过程中控制边缘精度的方法,属于光学加工领域。解决现有光学元件加工过程中为解决的“边缘效应”而造成破坏主面精度的风险大、成本高和效率低的问题。获取待加工元件对应材料的边缘区...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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