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本发明提供一种发光二极管的制备方法,包括以下步骤:提供一基底,所述基底具有一外延生长面;在所述外延生长面生长一第一半导体层;在所述第一半导体层表面设置一图案化的掩模层,所述图案化的掩模层包括多个并排延伸的条形凸起结构;刻蚀所述第一半导体层,...该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种发光二极管的制备方法,包括以下步骤:提供一基底,所述基底具有一外延生长面;在所述外延生长面生长一第一半导体层;在所述第一半导体层表面设置一图案化的掩模层,所述图案化的掩模层包括多个并排延伸的条形凸起结构;刻蚀所述第一半导体层,...