下载半导体光学器件的技术资料

文档序号:8791890

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一种半导体光学器件包括:第一包覆层、第二包覆层以及夹设于第一包覆层与第二包覆层之间的光波导层;其中该光波导层包括:第一半导体层;第二半导体层,布置在第一半导体层上且沿一个方向延伸;以及第三半导体层,覆盖第二半导体层的顶表面;以及其中该第一半...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。

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