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本实用新型公开了一种射频匹配电路，以及，包含该射频匹配电路的多重频率等离子体处理腔，该射频匹配电路包含：射频匹配电路，其可切换地耦合两个偏置频率中的一个和一个源频率在一个阴极上，其包含：第一匹配网络、第二匹配网络、第三匹配网络，以及并联谐振...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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