下载一种可降低误差的传感器的技术资料

文档序号:8787011

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本实用新型公开了一种可降低误差的传感器,传感器结构包括:第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。该传感器的优点:第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上,能够避免膜...
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