【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种可降低误差的传感器。
技术介绍
气体压力测量在工业仪表、医疗器具、气压表、高度计、压力开关、充气设备等许多工业设备中应用非常广泛。传统的气压传感器，例如水银气压表、空盒气压表等，其体积大、精度低的缺陷限制了应用范围。随着微机电MEMS技术的发展，MEMS压力传感器的技术也得到了发展和显著提高，传感器体积越来越小，测量精度也得到了很大提高。然而对于测量高精度气压时，压力传感器自身的机械迟滞误差就不能忽视。施加在传递压力的膜片上的压力从高至低降到压力值F时，和压力从低至高升到压力值F时，虽然最终的压力值相同，但由于机械的迟滞性，膜片在相同应力作用下的弯曲挠度是不同的，即传感器的膜片载荷的加载线与卸载线不完全重合。对于压力传感器，由于待测量的压力微小变化趋势是随机的，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的膜片形变对应的压力与实际的压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。
技术实现思路
本技术提出一种可降低误差的测量压力的传感器，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺陷，降低由于机械迟滞性造成的误差，提高压力的测量精度。本专利技术的技术解决方案:其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。本专利技术的有益之处在于:相比于已有技术，本专利技术传感器使用第一基板空腔为可与外界气体对流的半封闭结构，通过加热电阻对第一基板的空腔内气体加热，气体受热膨胀产生气体压强加压于第二基板的膜片，使驱动膜片弯曲在迟滞曲线的卸载线上，避免膜片位置的不确定问题，提高传感器的测...
【技术保护点】
一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。
【技术特征摘要】
1.一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。2.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于第一基板和第二基板连接，第二基板和第三基板连接。3.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，刘清惓，黄标，周晓，佘德群，
申请(专利权)人：南京高华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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