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本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过基座与三维高精度位移...
该专利属于上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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