下载一种单晶炉及其阻气筒的技术资料

文档序号:8784917

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本实用新型提供了一种单晶炉的阻气筒,其中,阻气筒套设在单晶炉的坩埚托杆和托杆护套的外侧,且阻气筒的顶端与单晶炉的反射板密封接触,阻气筒的底端与单晶炉的底部隔热部件密封接触。本实用新型提供的阻气筒,其避免了从反射板和底部隔热部件之间流过的硅蒸...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。

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