下载区熔单晶炉下轴运动机构的技术资料

文档序号:8784914

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本实用新型涉及非金属晶体的制造设备,旨在提供一种区熔单晶炉的下轴运动机构。该下轴运动机构包括外轴、支撑框、驱动丝杆、丝杆驱动电机、驱动托盘、花键轴、花键轴驱动电机、外轴旋转皮带轮组、外轴轴承、轴承仓组件和轴承仓旋转皮带轮组。本实用新型采用内...
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