下载一种区熔炉单晶夹持系统的技术资料

文档序号:8784913

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种区熔炉单晶夹持系统,它包括:夹持套筒A,内轴套筒,所述的内轴套筒中心处设内轴轴头,内轴轴头与用于拉伸单晶的籽晶夹头连接,所述的夹持套筒A为锥形,锥顶为敞口,敞口的中心供单晶通过,所述单晶的细颈一端与籽晶连接,位于锥尖部下方的直线段设有顶...
该专利属于有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。