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一种激光蒸发镀膜装置，其特征在于：包括一真空反应腔；一基板架；一CO2激光器；一He-Ne激光器；一分束镜，位于真空反应腔外并呈45度角设于CO2激光器与He-Ne激光器所发出的激光束的相交位置处；一聚焦凸透镜；一散焦凹透镜；一钳锅，用以盛...
该专利属于中山市创科科研技术服务有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市创科科研技术服务有限公司授权不得商用。

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