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本实用新型涉及一种蒸发源装置，尤其涉及一种铜铟镓硒薄膜电池生产工艺中的线性蒸发源装置。该线性蒸发源装置包括：材料腔室、喷嘴盖和加热源，所述喷嘴盖位于所述材料腔室的上方并具有多个喷嘴，所述加热源的数量为两个或两个以上，均匀分布在所述材料腔室的...
该专利属于汉能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过汉能科技有限公司授权不得商用。

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