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本实用新型公开了一种新型三氯氢硅合成炉，包括筒体、上封头和下封头，所述上封头和下封头分别固定在筒体的顶部和底部，所述筒体内设有筛板，所述上封头设有出气口，下封头设有排污口，所述筒体底部设有进气口和进气管连接头，所述进气管连接头插入进气口与筒...
该专利属于乐山永祥硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山永祥硅业有限公司授权不得商用。

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