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本实用新型公开了一种自动搬送轨道结构及搬送系统，该轨道结构包括主轨道和一个或多个支路轨道，该支路轨道具有一段支路主轨道及分别与该支路主轨道和主轨道相连接的支路连接轨道。本实用新型通过主轨道与支路轨道的设置，可以实现前方输送车在一处硅片存储设...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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