下载基于位移传感器的二维微动台的技术资料

文档序号:8782521

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本实用新型公开了一种基于位移传感器的二维微动台,包括二维驱动工作台、二维位移传感器及连接板,二维驱动工作台包括微动台基体,微动台基体内设有传感器连接台、压电陶瓷放置区和杠杆放大机构,二维位移传感器为二维梳齿位移传感器,包括传感器基体、位于传...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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