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本实用新型提供一种修整双面抛光机大盘的修盘装置，该装置包括圆形的载体，该载体的外周具有齿，该载体上设有用于承载砂轮的孔，砂轮安装在该孔中并突出该载体的表面，该砂轮由该载体带动。本实用新型结构简单，采用本实用新型可以对大盘进行整体修整，也可以...
该专利属于有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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