温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，包括滚磨机，滚磨机设置有磨头，其特征在于，所述滚磨机还包括可同步旋转的涡轮和蜗杆；所述涡轮安装于所述蜗杆上；蜗杆贯穿涡轮；滚磨机还包括与蜗杆相配合夹持单晶棒的尾架。本实用新型中的用于加...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。