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薄膜晶体管、其制造方法以及装备有该薄膜晶体管的图像显示装置制造方法及图纸
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下载薄膜晶体管、其制造方法以及装备有该薄膜晶体管的图像显示装置的技术资料
文档序号:8777830
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提供一种可以高质量且低成本制造的薄膜晶体管、制造该薄膜晶体管的方法以及装备有该薄膜晶体管的图像显示装置。一种薄膜晶体管,在绝缘基板上至少包括:栅电极;栅极绝缘层;源电极;漏电极;包含半导体区和绝缘区的金属氧化物层,半导体区和绝缘区中的每一个...
该专利属于凸版印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过凸版印刷株式会社授权不得商用。
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