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描述了一种用于在CVD反应器外部点燃硅棒的方法和装置，所述方法和装置用于制备在CVD反应器中得到后续处理的硅棒。在所述方法中，将硅棒安置在点燃装置内部，并且通过第一电源单元将第一电压施加到所述硅棒，其中所述电压足以点燃所述硅棒。随后，可选地...
该专利属于山特森西特股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山特森西特股份有限公司授权不得商用。

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