下载基板支承装置的技术资料

文档序号:8776987

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本发明公开了一种基板支承装置,所述基板支承装置包括一基体,所述基体具有多个指向基板的导向槽,每个导向槽中均设置有能够沿所述导向槽的指向方向伸缩的一可伸缩机构;其中所有所述可伸缩机构用于共同支承基板,而且所述可伸缩机构在支承基板时处于压缩状态...
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