下载一种表面沟道场效应晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:8775189

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本发明公开了一种表面沟道场效应晶体管,包括:P型衬底上部形成有P阱和N阱,P阱上部两侧形成有N型源漏区,N阱上部两侧形成有P型源漏区;P型源漏区和N型源漏区旁侧形成有场氧区,P型源漏区和N型源漏区被场氧区隔离;P阱上方形成有栅氧化层、第一N...
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