温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种制造氧化物薄膜晶体管的方法，所述方法包括下述步骤：在基板上形成氧化物半导体的有源层；对所述有源层进行等离子体表面处理，以使氧渗透进所述有源层中。因为对氧化物半导体的有源层进行含氧等离子体表面处理，所以可防止由于有源层中氧浓度的不均匀而导...
该专利属于乐金显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐金显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。