下载搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管的制造方法的技术资料

文档序号:8774986

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本发明披露了一种新结构的搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管(TFT)的制备方法。使用BG多晶硅作为有源层,TFT通道区域,电流垂直流过平行的BG线。相比之下,在源/漏区,电流平行流过BG线。利用BG线导电性的的各向异性,可以不必进行源/漏极掺杂处理。...
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