下载三维柔性触觉传感器阵列的技术资料

文档序号:8764002

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本发明属于传感器制备技术。三维力柔性触觉传感器阵列包括有序排列的微结构和微结构端点之间的导线,微结构之间填充有绝缘橡胶;每个微结构由三段柱形体构成,第一段柱形体垂直放置,第二段柱形体上端面与第一段柱形体的侧面相交并固定连接,第三段柱形体下端...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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