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本发明涉及一种易于调节聚焦的、无色差的、保持偏振特性的、信噪比优化的、且结构简单的近垂直入射宽带光谱仪。该宽带光谱仪通过一对曲面反射元件和平面反射元件实现聚焦和调焦，包含至少一个偏振器，能够高精度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于...
该专利属于北京智朗芯光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京智朗芯光科技有限公司授权不得商用。

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