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本发明公开了一种自动调节电容式MEMS陀螺仪的检测端谐振频率的电路，所述电容式MEMS陀螺仪包括中心质量块、驱动端和检测端，驱动端包括驱动端电极，检测端包括检测端电极，所述检测端电极具有一输入端，该输入端用于输入一偏置电压(Vi)，以在所述...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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