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本发明提供一种安装在真空镀膜机的转动轴上的基片承载装置，其特征在于，具有：连接单元，与转动轴相连；和基片承载单元，与连接单元卡合相连，包括定位台和与定位台固定相连的基片承载架，其中，定位台含有定位台本体和设置在该定位台本体上的卡槽，连接单元...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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