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本发明提供一种制备薄膜材料的靶材托，使用该靶材托，可以使一些本来做靶比较困难的材料也能够做成制备薄膜材料的靶材，大大拓宽制备薄膜材料的范围。其特征是当制备熔点较低的薄膜材料、导热性差的陶瓷薄膜材料时，将靶材放在靶材托的凹槽里，可以达到较好的...
该专利属于河南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南师范大学授权不得商用。

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