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本发明的离子轰击装置，在真空腔的一个内侧面配置有用丝极构成的加热式的热电子释放电极，在真空腔的其它内侧面配置有接受来自热电子释放电极的热电子的阳极，在热电子释放电极和阳极之间配置有基体材料。进而具有：在热电子释放电极及阳极之间给予电位差，使...
该专利属于株式会社神户制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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