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本发明提供一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，包括：InGaZnO4晶体结构以及微量元素，其中该InGaZnO4晶体结构如下式所示：x(In2O3)-y(Ga2O3)-z(ZnO)，其中，x∶y∶z＝1∶1∶0.5-2，以及该微量元素包括...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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