铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体及其制备方法与应用技术

本发明专利技术提供一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，包括：InGaZnO4晶体结构以及微量元素，其中该InGaZnO4晶体结构如下式所示：x(In2O3)-y(Ga2O3)-z(ZnO)，其中，x∶y∶z＝1∶1∶0.5-2，以及该微量元素包括硼(Boron)和/或铝(Aluminum)，含量介于约100-1000ppm。本发明专利技术亦提供一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法与其所制备的溅镀用靶材。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，包括：一InGaZnO4晶体结构以及一微量元素，其中该InGaZnO4晶体结构如式(I)所示：x(In2O3)?y(Ga2O3)?z(ZnO)????(I)其中，x∶y∶z＝1∶1∶0.5?2，以及该微量元素包括硼和/或铝，含量介于约100?1000ppm。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：周力行，周育贤，杨智超，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：