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本实用新型提出一种扩胶膜装置,在底座上安装升降装置,升降装置的一端连接升降台,升降台上设置有支撑架,支撑架上设置有支撑环,使用升降装置顶起升降台,升降台再带动支撑杆顶起放置于固定面板上的胶膜,使胶膜的表面扩大,从而使粘附于胶膜上的集成电路芯...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出一种扩胶膜装置,在底座上安装升降装置,升降装置的一端连接升降台,升降台上设置有支撑架,支撑架上设置有支撑环,使用升降装置顶起升降台,升降台再带动支撑杆顶起放置于固定面板上的胶膜,使胶膜的表面扩大,从而使粘附于胶膜上的集成电路芯...