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本实用新型涉及一种MEMS扫描探头，包括基座（1）、光纤（2）、透镜（3）、柔性双金属结构（8）、微镜底座（7）、以及设置在微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4），各个部件按照本实用新型的设计要求相互进行连接，其中，微镜底座（7）下表面上...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

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