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一种高频响、大行程、高精度微进给装置属机床的附属装置。本微进给装置由执行机构和控制系统两部分组成；执行机构由直线运动机构、位置反馈元件所组成，直线运动机构有一个直线运动轴，在轴上安装绕有线圈的框架，该框架处在一个由磁铁产生的磁场内、运动轴的...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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