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提供了带电粒子感应设备和形成带电粒子感应设备的方法。带电粒子感应设备包括带电粒子源，用于接收第一部分带电粒子的多个收集器电极，以及在多个收集器电极周围形成的并与多个收集器电极间隔的网格。网格接收第二部分带电粒子并将响应于所述第二部分所生成的...
该专利属于安立世所有，仅供学习研究参考，未经过安立世授权不得商用。

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