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CMOS成像器的带电粒子收集器制造技术

技术编号:8745916 阅读:161 留言:0更新日期:2013-05-30 01:10
提供了带电粒子感应设备和形成带电粒子感应设备的方法。带电粒子感应设备包括带电粒子源,用于接收第一部分带电粒子的多个收集器电极,以及在多个收集器电极周围形成的并与多个收集器电极间隔的网格。网格接收第二部分带电粒子并将响应于所述第二部分所生成的反向散射的带电粒子定向到相邻的收集器电极。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:丹·韦斯利·奇尔科特威廉·J·巴尼约翰·理查德·特罗克塞尔
申请(专利权)人:安立世
类型:
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