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本发明公开了一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。它具有恒温腔，恒温腔由冷热驱动器控制，在恒温腔内设有轨导，轨导两侧设有驱动绕组，下端设有悬浮磁钢，在导轨上设有驱动装置，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢，在...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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