用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。它具有恒温腔，恒温腔由冷热驱动器控制，在恒温腔内设有轨导，轨导两侧设有驱动绕组，下端设有悬浮磁钢，在导轨上设有驱动装置，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢，在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体、励磁线圈、磁极铁心，在驱动装置两侧还设有力传感器，上端设有温度传感器，在导轨下端设有温度传感器。本发明专利技术的优点是：１）在动静态摩擦系数不变的情况下，能够较大减小动静态摩擦力，从而抑制因动静态摩擦力不同所引起的振荡。２）即使突然失去电流，也不会完全失去吸浮力并造成冲击而影响驱动器及导轨的精度。３）稳定性好。４）可控性好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。
技术介绍
制约超精密加工的因素较多，如环境温度的影响、导轨的变形、回转体的跳动等等，而导轨的动态和静态摩擦系数相差较大，导致跳跃式进给并引起闭环控制系统的振荡，也是影响超精密加工发展的关键因素之一。目前减少动静态摩擦系数的常规方法是采用静压导轨，这样做的缺点是装置复杂，一旦漏油将引起环境污染；另一较新的方法是在导轨上加磁性油精，利用机械即时启动的摩擦能量，迅速激活金属表面的正离子，在两个接触面上形成正离子保护层并同性相斥，使动态摩擦系数降到很低的水平，但这样做不能解决静态摩擦系数太大的问题，在闭环控制过程中，同样会因动静态摩擦系数不同而引起控制系统的振荡。针对当前超精密加工中导轨动静态摩擦系数相差较大的问题，提出用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。它具有恒温腔，恒温腔由冷热驱动器控制，在恒温腔内设有轨导，轨导两侧设有驱动绕组，下端设有悬浮磁钢，在导轨上设有驱动装置，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢，在驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统，其特征在于它具有恒温腔（２），恒温腔由冷热驱动器（１）控制，在恒温腔内设有轨导（１３），轨导（１３）两侧设有驱动绕组（５），下端设有悬浮磁钢（１２），在导轨上设有驱动装置（３），在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢（６），在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体（７）、励磁线圈（８）、磁极铁心（９），在驱动装置两侧还设有力传感器（１１），上端设有温度传感器（４），在导轨下端设有温度传感器（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡旭晓，杨克己，台宪青，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]